期刊文章详细信息
SnO_2-ZnO薄膜的热处理效应
Thermal Treatment Effect of Thin-Film SnO_2-ZnO
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]内蒙古大学半导体能源实验室
基 金：国家自然科学资金资助项目
年 份：1993
卷 号：24
期 号：5
起止页码：491-494
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、普通刊
摘 要：用电子束蒸发的方法,在1.33×10^(-3)Pa的真空中蒸发SnO_2-ZnO陶瓷及掺杂荆,获得超微粒结构的SnO_2-ZnO薄膜,薄膜在氮气和氧气气氛中进行热处理。经热处理后,薄膜的结构、电学及光学性能得到改善。由这种薄膜制备的气敏元件,经掺杂和600℃热处理后,对乙醇气体有很高的灵敏度。
关 键 词：薄膜 热处理 陶瓷 半导体 氧化锌
分 类 号：TN304.055]
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