期刊文章详细信息
真空蒸发CVD法研制超微粒SnO_2薄膜
Perparation of Ultra-fineness Particle SnO_2 Film by Vaccum Evaporation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]内蒙古大学半导体能源实验室
年 份：1990
卷 号：21
期 号：4
起止页码：521-526
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、普通刊
摘 要：用真空反应蒸发,在玻璃、陶瓷及Si-SiO_2衬底上获得晶粒线度为90至0.2μm的超微粒SnO_2薄膜,对薄膜的结构、形貌及其电学性质和光学性质进行了研究。通过控制掺杂,使薄膜具有优良的湿敏特性和气敏特性。
关 键 词：薄膜 SNO2 超微粒 真空蒸发 CVD法
分 类 号：TN304.21]
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