上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室 
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研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类 电气类 航空航天类
被引量：1,075H指数：14WOS: 13 EI: 83 北大核心: 216 CSCD: 193
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排序方式：
- MEMS微陀螺仪研究进展
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- 《微纳电子技术》上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 成宇翔 张卫平 陈文元 崔峰 刘武 吴校生 出版年：2011
- 上海交通大学SMC优秀青年学者计划(T241460622);上海人才发展基金(047)
- 回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度...
- 关键词：微电子机械系统(MEMS) 惯性传感器 微陀螺仪 零偏漂移 角随机游走 悬浮转子式微陀螺
- LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展
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- 《电子工艺技术》上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室 李永海 丁桂甫 毛海平 张永华 出版年：2005
- 国家"863"计划(项目批准号:2003AA404140);国家自然科学基金(项目批准号:10377009)。
- 微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传统电铸技术的延伸,也可以认为是掩膜电镀在高深宽比方向发展的结果,微电铸工艺是LIGA/准LIGA技...
- 关键词：LIGA技术 微电铸镍 传质过程
- 超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺 ( EI收录)
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- 《复合材料学报》上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 王裕超 丁桂甫 吴惠箐 汪红 姚锦元 出版年：2006
- 教育部科学技术研究重大项目(重大0307);上海市纳米专项(0452nm049);上海市纳米专项(05nm05004);上海市自然基金(05ZR14076)的资助
- 为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好。依据实验结果...
- 关键词：碳纳米管 复合电镀 铜基复合镀层 超声振荡
- 角加速度计发展综述 ( EI收录)
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- 《中国惯性技术学报》上海交通大学 吴校生 陈文元 出版年：2007
- 介绍了国内外各种角加速度计的结构及工作原理,阐述了角加速度计在国内外的研究现状,通过分析角加速度计的发展趋势,结合现有角加速度计的特点及不足,文中还提出了一种新型的微流体惯性质量角加速度计。微流体角加速度计只敏感输入轴上...
- 关键词：角加速度计 应用 综述 微流体
- 微型压电振动能量采集器的研究进展
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- 《机械设计与研究》上海交通大学微纳科学技术研究院;南昌工程学院机械动力系;南昌大学机电工程学院 唐刚 刘景全 马华安 柳和生 出版年：2010
- 科技部国际合作项目(2009DFB10330);上海市科委(08230705500);南昌工程学院青年基金(2006KJ013)资助项目
- 微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,以...
- 关键词：压电 振动 能量采集器 微机电系统
- 基于硅结构的微流体控制系统
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- 《微细加工技术》上海交通大学微纳米科学技术研究院 程秀兰 蔡炳初 徐东 陈鉴 王莉 出版年：2002
- 教育部博士点基金资助项目 (980 2 4 838)
- 基于硅结构的微流体控制系统 (μFCs)是微机电系统 (MEMS)中的一个重要分支 ,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状 ,同...
- 关键词：硅结构 微流体 控制系统 微机电系统 传感器 微型泵 微型阀 MEMS
- 单分散Fe_3O_4纳米粒子的合成、表征及其自组装 ( EI收录)
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- 《功能材料》上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 窦永华 张玲 古宏晨 出版年：2007
- 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA320H10)
- 采用高温有机前驱体分解法,以Fe(acac)3为前驱体制备出单分散性较好的Fe3O4纳米粒子,粒径为(6.4±0.90)nm。利用TEM、XRD、HPPS、FTIR等手段对粒子的形貌及性质进行了研究,证实得到的是Fe3O...
- 关键词：FE3O4纳米粒子 自组装 单分散 表面修饰
- 高Fe_3O_4含量单分散P(St/AA)复合微球的合成与表征 ( SCI收录)
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- 《高分子学报》上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 贺枰 崔陇兰 强伟丽 徐宏 古宏晨 出版年：2007
- 国家高技术研究发展计划(863计划;项目号2006AA032359);上海市纳米专项基金(基金号0652nm012;05DZ19312)资助项目
- 在表面由十一烯酸和油酸共同修饰的Fe3O4磁流体存在下,以苯乙烯(St)和丙烯酸(AA)为共聚单体,用细乳液聚合法,制备了单分散,高Fe3O4含量,且表面带有羧基的超顺磁性高分子复合微球.采用透射电镜(TEM),热重分析...
- 关键词：细乳液 超顺磁性 复合微球 羧基 表面改性
- 新型水基磁流体的制备及其生物磁热效应研究 ( EI收录)
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- 《功能材料》上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 童乃虎 徐宏 古宏晨 出版年：2006
- 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2002AA302210;2004AA302023;2005AA302H10)
- 以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛...
- 关键词：纳米FE3O4 泛酸 表面修饰 磁流体 热效应
- 一种宽频的磁式压电振动能量采集器
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- 《传感器与微系统》上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 马华安 刘景全 唐刚 杨春生 李以贵 出版年：2011
- 国家自然科学基金资金项目(60777016);科技部国际合作项目(2009DFB10330);航空重点实验室基金资金项目(20080857002);上海市浦江人才计划资助项目(09PJ1406200);上海市科委科技计划资助项目(08230705500)
- 基于环境能量采集的压电振动能量采集器为无线传感器和微机电系统的长期供能提供了一种有效解决方案。目前研制的压电式振动能量采集器存在工作频率高,且频带窄的问题。给出了一种通过磁力的引入使其在低频下工作的、宽频的压电振动能量采...
- 关键词：压电悬臂梁 振动 能量采集 宽频 永磁铁
