期刊文章详细信息
基于硅结构的微流体控制系统
Micro Fluidic Controlling System Based on Silicon Structure
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200030
基 金：教育部博士点基金资助项目 (980 2 4 838)
年 份：2002
期 号：2
起止页码：58-67
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：基于硅结构的微流体控制系统 (μFCs)是微机电系统 (MEMS)中的一个重要分支 ,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状 ,同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。
关 键 词：硅结构 微流体 控制系统 微机电系统 传感器 微型泵 微型阀 MEMS
分 类 号：TP211.3]
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