上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室

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研究主题：MEMS    微机电系统    MEMS技术    碳纳米管    压电    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    电气类    航空航天类    

被引量：1,050H指数：14WOS: 13 EI: 83 北大核心: 216 CSCD: 193