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LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展
The Development of Microelectroforming Process of LIGA/Quasi-LIGA Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200030
基 金：国家"863"计划(项目批准号:2003AA404140);国家自然科学基金(项目批准号:10377009)。
年 份：2005
卷 号：26
期 号：1
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传统电铸技术的延伸,也可以认为是掩膜电镀在高深宽比方向发展的结果,微电铸工艺是LIGA/准LIGA技术的核心内容,在MEMS技术领域有广泛应用。介绍了电铸和微电铸的原理和特点,系统分析了微电铸过程的电化学本质,综述了微电铸技术研究的最新进展,给出了一些为大家所共识的微电铸镍基本工艺规范。
关 键 词：LIGA技术 微电铸镍 传质过程
分 类 号：TQ153.4]
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