上海交通大学微纳米科学技术研究院

研究主题：MEMS 微机电系统微电子机械系统碳纳米管 MEMS技术

研究学科：电子信息类自动化类电气类机械类航空航天类

被引量：3,362H指数：23WOS: 35 EI: 232 北大核心: 474 CSCD: 477

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微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室: 2; 发文量：315被引量：1,075H指数：14; 研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术碳纳米管压电

微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室: 4; 发文量：166被引量：466H指数：10; 研究主题：MEMS 微机电系统微电感微陀螺力学性能

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