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5 条 记 录,以下是 1-5

金属三维微结构加工技术的研究
1
《仪表技术与传感器》重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;中电集团电子44所;重庆科技学院电气与信息工程学院;日本东北大学工学部机械知能系 吴英 周兆英 江永清 向毅 小野崇人  出版年:2006
三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻...
关键词:MEMS 微加工 反应离子刻蚀 电镀 金属微结构  
基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器 ( EI收录)
2
《机械工程学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院电气与信息工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 唐一科 郑富中 周兆英 杨兴 吴英  出版年:2010
国家自然科学基金资助项目(50875139;60876088)
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米...
关键词:化学气相沉积 悬空单壁碳纳米管阵列  应变传感 微纳传感器件  
MRI微型RF接收线圈的设计与制作
3
《半导体光电》重庆科技学院电气与信息工程学院;重庆光电技术研究所;重庆科技学院;东北大学工学部.日本仙台980-8579;东北大学工学部.日本仙台980-8579 吴英 江永清 周兆英 田中小野 江刺正喜  出版年:2006
基于MEMS深刻蚀技术和微电镀工艺,介绍了一种用于核磁共振成像(MRI)系统的微型射频(RF)接收线圈的设计与微加工制作方法,研制出了线圈内径为100μm,线圈厚度200μm,线圈宽度30μm,深宽比大于6,品质因数为4...
关键词:微型RF接收线圈  核磁共振成像传感器  高深宽比 微机电系统
基于碳纳米管的微纳单元的实验研究
4
《半导体光电》重庆光电技术研究所;重庆科技学院电子信息工程系;清华大学 江永清 吴英 向毅 周兆英 杨兴 许迪 方泽佳  出版年:2009
国家自然科学基金资助项目(60876088);重庆市科委自然科学基金资助项目(2007BB3220)
利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了"管压电极"和"电极压管"的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但"管压电...
关键词:碳纳米管生长 微加工工艺 微纳单元制备  
单壁碳纳米管阵列场效应特性的研究
5
《固体电子学研究与进展》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械与动力工程学院;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室;重庆科技学院电气与信息工程学院 郑富中 唐一科 周兆英 杨兴 吴英  出版年:2010
单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为...
关键词:单壁碳纳米管阵列  化学气相沉积 控制转移  场效应
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