文献类型：期刊文章

作　　者：吴英 周兆英 江永清 向毅 小野崇人

WU Ying　, ZHOU Zhao-ying　, JING Yong-qing　, XIANG Yi　, TAKAHITO Ono（1.State Key Laboratory of Predston Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing 100084,China; 2.Chongqing University of Science and Technology, Chongqing 400050, China;3. Chongqing Optoelectronic Research Institute, Chongqing 400040 China;4.Tohoku University, Sendai 980- 8579, Japan　

机构地区：重庆科技学院电气与信息工程学院 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084 中电集团电子44所,重庆400040 重庆科技学院电气与信息工程学院 日本东北大学工学部机械知能系,日本仙台980—8579

出　　处：《仪表技术与传感器》

年　　份：2006

期　　号：1

起止页码：8-9

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD（2011-2012）、IC、INSPEC、JST、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败.而LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的LIGA掩模板,加工周期长.为此,基于反应离子深刻蚀技术,结合电镀工艺,提出了一种金属微结构的微加工制作方法,并进行了相应的实验.结果表明,该方法不仅可以制造出深宽比为6的微型金属螺旋线圈,还可以为其他非硅三维微结构的加工提供一定的技术支持.

关 键 词：MEMS 微加工 反应离子刻蚀 电镀 金属微结构  

分 类 号：TH16]