文献类型：期刊文章

作　　者：吴英 江永清 周兆英 田中小野 江刺正喜

WU Ying , JIANG Yong-qing , ZHOU Zhao-ying , Ono Takahito , Esashi Masayoshi （1. Chongqing University of Science and Technology, Chongqing 400050, CHN; 2. State Key Lab. Precision Measurement Technology and Instrumentation, Tsinghua University, Beijing 100084, CHN; 3. Chongqing Optoelectronics Research Institute, Chongqing 400060, CHN; 4. Graduate School of Engineering, Tohoka University, Sendal, 980-8579, JPN）

机构地区：重庆科技学院电气与信息工程学院 重庆光电技术研究所,重庆400060 重庆科技学院,重庆400050 东北大学工学部．日本仙台980-8579 东北大学工学部．日本仙台980-8579

出　　处：《半导体光电》

年　　份：2006

卷　　号：27

期　　号：5

起止页码：556-559

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD（2011-2012）、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于MEMS深刻蚀技术和微电镀工艺，介绍了一种用于核磁共振成像（MRI）系统的微型射频（RF）接收线圈的设计与微加工制作方法，研制出了线圈内径为100μm，线圈厚度200μm，线圈宽度30μm，深宽比大于6，品质因数为4的微型金属螺旋线圈。实验结果表明，该制作工艺可为高深宽比的金属微结构的研制和核磁共振成像系统微型化提供新的方法和支持。

关 键 词：微型RF接收线圈  核磁共振成像传感器  高深宽比 微机电系统

分 类 号：TN305]