文献类型：期刊文章

作　　者：江永清[1] 吴英[2] 向毅[2] 周兆英[3] 杨兴[3] 许迪[2] 方泽佳[2]

机构地区：[1]重庆光电技术研究所,重庆400060 [2]重庆科技学院电子信息工程系,重庆401331 [3]清华大学,北京100084

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60876088);重庆市科委自然科学基金资助项目(2007BB3220)

年　　份：2009

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：59-62

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了"管压电极"和"电极压管"的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但"管压电极"工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。

关 键 词：碳纳米管生长 微加工工艺 微纳单元制备  

分 类 号：TN305]