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合肥工业大学机械工程学院真空科学技术与装备工程研究所

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研究主题：磁控溅射制备 XPS分析 XPS SEM 哈氏合金

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硅基哈氏合金薄膜磁控溅射制备及SEM、XPS分析: 1; TFC’17全国薄膜技术学术研讨会 2017庞甜甜；出版年：2017; 哈氏合金(Hastelloy C276)是一种镍-铬-钼固溶体合金,该合金硬度、强度高、延展性好,且耐腐蚀性能优异,耐点蚀性能强,是目前最耐腐蚀的合金之一。磁控溅射镀膜制备的哈氏合金薄膜质量高,与基体结合力好,且抗蚀性能...; 关键词：哈氏合金磁控溅射 SEM XPS

ta-C薄膜热应力有限元分析: 2; TFC’17全国薄膜技术学术研讨会 2017何涛；出版年：2017; 四面体非晶碳膜(ta-C)一般指膜层中sp~3碳杂化键占比超过50%的类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜。类金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、电阻率高、化学稳定性好、光学性能出色和生物相容性良...; 关键词：ta-C薄膜热应力模拟

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