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新疆大学物理科学与技术学院材料物理研究中心 收藏

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研究主题：稀磁半导体    氮化铝薄膜    

研究学科：电气类    电子信息类    

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钛掺杂氮化铝基稀磁半导体薄膜的制备
1
第十八届全国半导体物理学术会议 2011 出版年：2011
稀磁半导体(DILUTE MAGNETIC SEMICONDUCTORS,DMSS)迅速成为当今自旋电子学材料研究热点.Ⅲ-V族化合物氮化铝(AIN)作为宽带(6.20EV)半导体材料,它在紫外光发射、高温大功率光电器...
钛掺杂氮化铝基稀磁半导体薄膜的制备
2
第十八届全国半导体物理学术会议 2011任银拴 蒋小康 简基康 李锦 孙言飞 吴荣  出版年：2011
本文介绍了采用共溅法制备Ti掺杂AlN薄膜的方法，并通过X射线衍射(X-ray diffraction ， XRD)进行表征。
关键词：稀磁半导体 氮化铝薄膜 钛掺杂工艺  射频磁控溅射技术  
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