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东南大学机械工程学院先进制造技术实验室

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研究主题：单晶硅湿法腐蚀蒙特卡罗各向异性蒙特卡罗模拟

研究学科：电子信息类

被引量：3H指数：1WOS: 2 EI: 2 北大核心: 3 CSCD: 3

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Metropolis蒙特卡罗模拟湿法腐蚀算法研究及应用 ( EI收录): 1; 《Journal of Semiconductors》东南大学机械工程学院朱鹏幸研易红汤文成出版年：2008; 国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA04Z351);国家自然科学基金(批准号:50675033)资助项目~~; 探讨了Metropolis蒙特卡罗方法模拟硅微加工各向异性湿法腐蚀仿真算法.在台阶流动(step flow)模型上引入了腐蚀概率方程,确定了蒙特卡罗转移概率.通过对不同相位晶面(vicinal surface)在掩模下的...; 关键词：Metropolis蒙特卡罗单晶硅各向异性湿法腐蚀

基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析: 2; 《传感技术学报》东南大学机械工程学院先进制造技术实验室朱鹏幸研易红出版年：2007; 国家自然科学基金资助(50675033); 分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程,开发了仿真系统,分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程.通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果,对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论...; 关键词：蒙特卡罗元胞自动机单晶硅各向异性湿法腐蚀

蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究 ( EI收录): 3; 《Journal of Semiconductors》东南大学机械工程学院先进制造技术实验室幸研朱鹏易红汤文成出版年：2008; 讨论了基于蒙特卡罗法模拟各向异性腐蚀加工的微观表面形态的仿真方法.应用台阶流动模型,分析了(h,k,l)晶面中(h+2,h,h),(h,1,1),(h+2,h+2,h)以及(h,h,1)晶面族上反应活跃的台阶部位原子的排...; 关键词：蒙特卡罗单晶硅湿法腐蚀表面形态

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