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兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系 收藏

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研究主题:静电感应晶体管    寄生效应    新型结构    槽栅    肖特基势垒    

研究学科:电子信息类    

被引量:1H指数:1WOS: 1 EI: 1 北大核心: 2 CSCD: 2

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一种新型结构的静电感应晶体管 ( EI收录)
1
《Journal of Semiconductors》兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所;兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系 唐莹 刘肃 李思渊 吴蓉 常鹏  出版年:2007
甘肃省自然科学基金资助项目(批准号:3ZS051-A25-034)~~
提出了一种新型结构的静电感应器件,设计了一道环绕的深槽,用以切断寄生效应.静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效,文中提出了寄生效应的模型,并用PSPICE进行了仿真模拟,数值模拟结果和实验结果一致.实验表明...
关键词:静电感应晶体管 深槽结构  寄生效应 深槽腐蚀  
槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管
2
《半导体技术》兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所;兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系 杨涛 刘肃 李思渊 王永顺 李海蓉  出版年:2008
传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管。使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管...
关键词:静电感应晶体管 V形槽  等离子体增强化学气相淀积  肖特基势垒
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