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北京交通大学理学院物理实验中心

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研究主题：测试仪器变温薄膜电阻真空磁控溅射技术

研究学科：

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真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用: 1; 《物理实验》北京交通大学理学院物理实验中心朱亚彬魏敏建何帆刘依真王保军陈志杰出版年：2011; 设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.; 关键词：真空变温薄膜电阻

双层透明薄膜制备及氧含量对折射率影响研究: 2; 《实验技术与管理》北京交通大学理学院物理实验中心朱亚彬寇克瑜何帆出版年：2012; 中央高校基本科研业务费专项基金(2009JBM098);北京市自然科学基金(2113050); 利用磁控溅射技术在玻璃基片上分别沉积ZnOx薄膜、TiO2-y薄膜和TiO2-y/ZnOx双层透明薄膜,改变薄膜沉积过程中的氩气(Ar)和氧气(O2)的比例,获得具有不同氧含量的ZnOx薄膜和TiO2-y薄膜。采用椭偏仪...; 关键词：透明薄膜磁控溅射技术全反射

利用真空变温电阻测试仪研究VO_2薄膜的电阻特性: 3; 《物理实验》北京交通大学理学院物理实验中心朱亚彬王子潇郑凯出版年：2012; 中央高校基本科研业务费专项基金(No.2009JBM098);北京市自然基金(No.2113050); 利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞...; 关键词：磁控溅射 VO2薄膜电阻率温度

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