期刊文章详细信息
利用真空变温电阻测试仪研究VO_2薄膜的电阻特性
Research on the temperature dependent resistance of VO_2 thin film in vacuum
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京交通大学理学院物理实验中心,北京100044
基 金：中央高校基本科研业务费专项基金(No.2009JBM098);北京市自然基金(No.2113050)
年 份：2012
卷 号：32
期 号：12
起止页码：1-4
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
关 键 词：磁控溅射 VO2薄膜 电阻率 温度
分 类 号：O484.4]
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