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太原理工大学微纳系统研究中心 收藏

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研究主题:聚二甲基硅氧烷    灵敏度    系统设计    隧穿效应    PDMS    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    矿业类    电气类    

被引量:76H指数:5EI: 3 北大核心: 30 CSCD: 15

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31 条 记 录,以下是 1-10

基于Pcap01芯片的高精度微电容检测系统设计
1
《传感技术学报》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室 邓丽莉 桑胜波 张文栋 唐晓亮 李朋伟 胡杰 李刚 菅傲群  出版年:2013
国家自然青年基金项目(51105267);博士后基金项目(2011M500542);博士后基金特别项目(2012T50248);教育部高等学校博士学科点专项科研基金项目(20111402120007)
介绍了一种基于Pcap01的微弱电容检测系统的硬件、软件设计和实验测试。系统硬件主要由微电容测量芯片Pcap01、单片机STC12LE5A60S2最小系统以及供电电路构成。系统软件包括下位机的C程序和基于Labview软...
关键词:电容式生物传感器  微弱电容检测  Pcap01  STC12LE5A60S2  C程序 LABVIEW
SPI串行Data Flash在MEMS姿态测量系统中的应用
2
《电子技术应用》太原理工大学微纳系统研究中心;清华大学精密仪器与机械学系 翟瑞永 张文栋 周兆英 桑胜波 李朋伟 孙其瑞  出版年:2013
山西省科技重大专项(20121101004);山西省高等学校特色重点学科建设项目(晋教财[2012]145)
基于MEMS传感器的姿态测量系统以体积小、功耗低、实时性好、方便使用等优点而得到广泛应用,传感器信息除用于实时处理进行姿态解算以外,更需要长时间保存以达到校对、仿真、数值分析等多种用途。针对大容量存储在实际使用中疑难较多...
关键词:AT45DB321D  MEMS姿态测量系统  模拟SPI  操作指令  
基于电容数字转换技术的微小电容测量电路的设计研究
3
《科学技术与工程》太原理工大学微纳系统研究中心;新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 樊骁 桑胜波 张文栋 李朋伟 胡杰 李刚  出版年:2014
国家自然青年基金资助项目(51105267);教育部高等学校博士学科点基金资助项目(20111402120007);太原市国际合作项目(900102-03000711);山西省回国留学人员科技活动择优项目(2011lx10)资助
传统的微小电容测量电路难以满足电容式传感器的发展要求;为此,提出以AD7746为电容数字转换器、MSP430F149为微处理器的测量方案,详细论述了电路的应用背景和软硬件设计,为电容式传感器的信号处理提供了全新的思路和解...
关键词:电容式传感器 微小电容  AD7746  
嵌入式公路健康监测传感器系统设计
4
《传感器与微系统》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 刘颖 李刚 李朋伟 桑胜波 胡杰 张文栋  出版年:2013
国家自然科学基金资助项目(51205276;51205275);太原市科技局重大自主创新计划资助项目(2012019)
针对公路健康监测系统监测参数多、监测范围广、实时性要求高及有线监测布线困难且易损坏等特点,设计了一种无线传输的嵌入式公路健康监测系统。该系统采用三层式结构设计,由数据采集节点、中继节点及监测中心组成;利用多传感器集成技术...
关键词:公路健康监测  嵌入式传感器系统  无线传输
聚二甲基硅氧烷薄膜的衬底硅烷化及测试分析
5
《现代化工》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 马文哲 桑胜波 胡杰 张文栋 李朋伟 李刚  出版年:2013
中国博士后科学基金特别资助项目(2012T50248);国家自然科学青年基金资助项目(51105267);国家教育部博士点基金资助项目(20111402120007);山西省回国留学人员科技活动项目择优资助项目(2011x10)
聚二甲基硅氧烷(PDMS)微薄膜可作为高灵敏生物传感器的敏感单元。为了实现敏感单元的制备,往往需要进行揭膜。采用对衬底硅烷化的方法,研究了PDMS微薄膜的揭膜工艺。通过测试其旋涂衬底:玻璃片、Si片的表面静态接触角,实验...
关键词:聚二甲基硅氧烷 衬底 静态接触角 三甲基氯硅烷 硅烷化
条形和脊型SOI波导微环结构传感性能研究(英文) ( EI收录)
6
《红外与激光工程》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 邓丽莉 石强 张辉 段倩倩 菅傲群 桑胜波 张文栋  出版年:2015
国家自然科学基金(91123036,51105267);高等学校博士学科点专项科研基金(20131402110013,20111402120007);山西省科技厅科技重大专项(20121101004);山西省高等学校特色重点建设学科项目(晋教材[2012]45号);山西省回国留学人员科技活动项目择优资助项目
使用时域有限差分(FDTD)方法研究了基于SOI微环谐振腔结构的条形和脊型波导,探究了微环谐振腔应用于生物传感的理论。分析了结构的几何尺寸对生物传感器灵敏度的影响。通过分析条形和脊型波导的模场分布图,解释了条形波导的灵敏...
关键词:条形和脊型波导  微环谐振腔 生物传感器 横截面
纳米金-聚二甲基硅氧烷复合薄膜制备及电学特性研究
7
《化工新型材料》太原理工大学微纳系统研究中心新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 赵冬 张丹 刘丽华 李丹 刘亚丽 桑胜波  出版年:2017
国家自然科学基金(61471255;61474079);863项目(2013AA041109;2015AA042601)
纳米金-聚二甲基硅氧烷(AuNPs-PDMS)复合微薄膜具有良好的生物适应性和较高的灵敏度,可作为生物传感器的敏感元件。通过两步还原法制得的AuNPs-PDMS复合微薄膜,具有良好的导电性和柔韧性。通过温度、形变、膜厚对...
关键词:AuNPs-PDMS  微薄膜  化学制备 电学特性
纳米光波导光滑技术研究进展 ( EI收录)
8
《红外与激光工程》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 石强 桑胜波 张文栋 李朋伟 胡杰 李刚  出版年:2013
国家自然科学基金重点支持项目(91123036);山西省回国留学人员科技活动项目择优资助项目(2011x10)
随着半导体工业的发展,集成光电器件的特征尺寸越来越小,纳米光波导表面光滑技术将面临新的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度,制造超低损耗纳米光波导,实现其高效片间光互连与片内光耦合,是集成光电子器件,特别是高灵敏微陀螺、生化传...
关键词:光滑工艺  纳米光波导  表面粗糙度
BTO/PDMS/C柔性复合薄膜的制备及压电性能研究
9
《压电与声光》太原理工大学微纳系统研究中心 苏晓晓 李银辉 李廷鱼 李朋伟  出版年:2020
国家自然科学基金资助项目(61904122);山西省高等学校科技创新基金资助项目(2019L0243);山西省优秀人才科技创新基金资助项目(201605D211020);山西省国际合作基金资助项目(201803D421029);山西省面上青年基金资助项目(201901D211074)。
该文将聚二甲基硅氧烷(PDMS)、炭黑(C)和水热法制备的钛酸钡(BaTiO3,BTO)纳米颗粒复合,旋涂得到BTO/PDMS/C柔性压电复合薄膜。研究结果表明,制备的BTO纳米颗粒尺寸均匀,粒径约φ(58±10)nm;...
关键词:压电复合薄膜  柔性  钛酸钡(BaTiO3)  聚二甲基硅氧烷(PDMS)  输出特性  
电容式RF MEMS开关介质层电荷积累消除方法
10
《微纳电子技术》太原理工大学微纳系统研究中心;太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室 许成龙 李朋伟 张文栋 桑胜波 胡杰 程超群 郭兴军 李刚  出版年:2013
国家自然科学基金资助项目(51205275;51205276)
电容式RF MEMS开关是下一代高频通信领域中的关键部件。首先,介绍了电容式RF MEMS开关的结构、工作原理以及失效机理。介质充电是制约电容式RF MEMS开关长期可靠性的主要原因,介质膜中的陷阱以及施加在介质膜中高电...
关键词:RF  MEMS开关 介质充电  电荷积累  陷阱  电场
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