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西安交通大学机械工程学院精密工程与光学测试技术研究所 收藏

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研究主题:MEMS    微机电系统    反求工程    力学性能    原子力显微镜    

研究学科:自动化类    机械类    电子信息类    电气类    航空航天类    

被引量:355H指数:9WOS: 5 EI: 22 北大核心: 62 CSCD: 52

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105 条 记 录,以下是 1-10

基于NURBS曲线插值的激光光刀图像中心提取方法的研究 ( EI收录)
1
《中国激光》西安交通大学精密工程研究所 隋连升 李兵 蒋庄德  出版年:2003
陕西省自然科学基金 (编号 :2 0 0 1c4 3)资助项目
通过介绍激光扫描测量原理 ,说明准确地从光刀图像中提取光刀中心位置是影响测量精度的关键因素。提出了基于非均匀有理B样条 (NURBS)曲线插值的光刀中心提取方法。通过实验说明该方法重复提取的结果比较稳定 ,而且将误差控制...
关键词:图像处理 反求工程 激光扫描系统 非均匀有理B样条(NURBS)  
等离子体低温刻蚀单晶硅高深宽比结构 ( EI收录)
2
《真空科学与技术学报》西安交通大学精密工程研究所 卢德江 蒋庄德  出版年:2007
国家自然科学基金(No.50205020)
等离子体低温刻蚀是一种针对高深宽比结构的干法刻蚀技术。本文在低温刻蚀单晶硅样品时得到典型的刻蚀结果为:各向异性值>0.99,硅刻蚀速率>1.5μm/min,对SiO2刻蚀选择比>75,说明该刻蚀方法很具竞争力。通过对载片...
关键词:低温刻蚀  微机电系统 深宽比  刻蚀滞后  
分布式光纤传感器在管道泄漏监测中的应用
3
《郑州大学学报(理学版)》西安交通大学精密工程研究所;中国石油天然气集团公司管材研究所 王延年 赵玉龙 朱笠 蒋庄德 赵国仙  出版年:2003
中国石油天然气集团公司科学研究与技术开发基金资助项目
提出了一种利用分布式光纤传感器对输送管道泄漏进行实时监测的技术 .输送管道发生泄漏、管道附近的机械施工和人为破坏等事件产生的振动、压力或温度变化信号作用于光纤时 ,光波在光纤中传输时产生的损耗具有不同的信号特征 .分布式...
关键词:分布式光纤传感器 输送管道  泄漏监测  实时监测 光功率检测  损耗
高精度气体静压轴系刚度分析
4
《制造技术与机床》西安交通大学精密工程研究所 赵惠英 田世杰 蒋庄德  出版年:2003
文章从多孔质气体静压轴承刚度、主轴几何刚度结构设计原则等方面论述了高精度气体静压轴系刚度的分析方法 ,并进行了相应的实验。
关键词:气体静压轴系  刚度 精度  气体静压轴承 机床
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究 ( EI收录)
5
《仪器仪表学报》哈尔滨工业大学机器人研究所;西安交通大学精密工程研究所 荣伟彬 王家畴 赵玉龙 陈立国 孙立宁  出版年:2007
国家863计划(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术...
关键词:三维微力传感器 压阻检测技术  有限元分析 标定实验  
纳米测量及纳米样板
6
《纳米技术与精密工程》西安交通大学精密工程研究所 蒋庄德 景蔚萱  出版年:2004
高等学校骨干教师资助计划项目;国家教育部博士点基金项目 (1 9990 6982 1 )
介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状 .提出了两种制备纳米结构样板的方法 :Si基底上的原子力显微镜 (AFM )探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺 .
关键词:计量学 原子力显微镜 纳米样板  探针诱导阳极氧化  机械划刻  线宽 直线度 平行度 纳米测量  
栅格型点云数据的自由曲面建模技术研究 ( EI收录)
7
《计算机辅助设计与图形学学报》西安交通大学精密工程研究所 隋连升 蒋庄德  出版年:2003
陕西省自然科学基金 (2 0 0 1c43 )资助
通过研究激光线扫描测量原理以及测量数据类型 ,提出一种有效的数据点平滑处理技术和复杂曲面建模方法 该方法包括三个步骤 :首先对测量点数据平滑处理 ;然后进行特征线提取 ,并以特征线为基础对曲面进行分割 ;最后 ,在每块测...
关键词:CAD 栅格型点云数据  自由曲面 建模  NURBS曲面
反求工程中测量技术综述
8
《矿山机械》西安交通大学精密工程研究所;湖南科技大学机电工程学院 郭迎福 李兵 李鹏南 廖传军  出版年:2005
国家自然科学基金资助(50275120);湖南省教育厅优秀青年项目资助(03B045);湖南科技大学机械设备健康维护省重点实验室开放基金资助(KFJJ0406)
综述了反求工程中物体三维形貌测量技术,说明了各种测量技术的测量原理及其特点。这对于不同物体特征及不同的测量要求,选取合适的测量方法有一定的参考价值。
关键词:反求工程 技术综述  CAD模型 测量  先进制造技术 数字化处理  设计思想  测试手段  数据重构 设计者 三维  数据为  离散化  再设计 产品  对象  
纳米样板的制备及其精度分析
9
《计量学报》西安交通大学精密工程研究所 景蔚萱 赵惠英 蒋庄德  出版年:2004
高等学校骨干教师资助计划项目;国家教育部博士点基金项目(1999069821)
介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加...
关键词:计量学 原子力显微镜 纳米样板  探针诱导阳极氧化  线宽 直线度 平行度 不确定度
亚像素级标定角点提取新算法
10
《西安科技大学学报》西安交通大学精密工程研究所 李红梅 黄梦涛 田爱玲 杨川  出版年:2006
在计算机视觉测量中,摄像机的标定精度对保证系统测量精度有着至关重要的作用。而角点的提取精度一直是摄像机标定技术的难点。文中在分析常用角点提取方法的基础上,结合数学形态学算法和边缘形态模板,施行了畸形角点的修正,实现了高位...
关键词:摄像机标定 角点提取 算法  
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