期刊文章详细信息
纳米测量及纳米样板
Nano-Scale Measurement and Reference Materials
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安交通大学精密工程研究所,西安710049
基 金：高等学校骨干教师资助计划项目;国家教育部博士点基金项目 (1 9990 6982 1 )
年 份：2004
卷 号：2
期 号：1
起止页码：16-19
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、DOAJ、IC、INSPEC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状 .提出了两种制备纳米结构样板的方法 :Si基底上的原子力显微镜 (AFM )探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺 .
关 键 词：计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 机械划刻 线宽 直线度 平行度 纳米测量
分 类 号：TB383[材料类]
参考文献：
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同被引文献：
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