文献类型：期刊文章

作　　者：景蔚萱[1] 赵惠英[1] 蒋庄德[1]

机构地区：[1]西安交通大学精密工程研究所,陕西西安710049

出　　处：《计量学报》

基　　金：高等学校骨干教师资助计划项目;国家教育部博士点基金项目(1999069821)

年　　份：2004

卷　　号：25

期　　号：1

起止页码：6-10

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析。

关 键 词：计量学 原子力显微镜 纳米样板  探针诱导阳极氧化  线宽 直线度 平行度 不确定度

分 类 号：TB92]