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杭州大学特种材料研究所

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研究主题：金刚石膜成核衬底化学气相沉积镀膜

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多种材料上金刚石膜的成核和生长研究 ( EI收录): 1; 《表面技术》杭州大学特种材料研究所邱东江石成儒曾耀武郝天亮庞国锋出版年：1997; 浙江省自然科学基金资助项目; 采用改进的热丝化学气相沉积(AHFCVD)装置,在四类六种不同性质衬底材料(W、Mo、Cu、Si、SiO_2、Al_2O_3)上研究了金刚石膜成核与生长特性。研究了基片材料特性(如材料的结晶特性、晶格常数、热膨胀系数、化...; 关键词：金刚石膜成核化学气相沉积镀膜衬底薄膜

低压等离子体结合热解法制备金刚石膜: 2; 《科技通报》杭州大学特种材料研究所庞国锋石成儒韩惠雯出版年：1995; 国家自然科学基金;浙江省自然科学基金; 金刚石膜具有与天然金刚石相似的优异特性，预计会有十分广阔的应用前景．本文介绍了一种新颖的金刚石膜生长技术─—强流电子增强化学气相沉积法（ＩＥＣＶＤ），它结合了传统的热丝法和等离子体法各自的优点，成为一种具有较高生长速率，...; 关键词：金刚石膜等离子体法热解法低压生长

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