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东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 收藏

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研究主题:培训班    《真空技术》    真空    数值模拟    干泵    

研究学科:自动化类    电子信息类    机械类    环境科学与工程类    轻工类    

被引量:231H指数:9WOS: 2 EI: 18 北大核心: 48 CSCD: 22

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109 条 记 录,以下是 1-10

基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性 ( EI收录)
1
《真空科学与技术学报》东北大学真空与流体工程研究中心;中国科学院金属研究所 蔺增 巴德纯 王志 闻立时  出版年:2004
讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所...
关键词:RFPECVD法  不锈钢 类金刚石薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积  DLC 摩擦系数  
高真空直排大气干泵的最新进展 ( EI收录)
2
《真空科学与技术学报》东北大学真空与流体工程研究中心 刘坤 巴德纯 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶  出版年:2008
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
关键词:干式真空泵 高真空 直排大气研究进展  
圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用
3
《真空》东北大学真空与流体工程研究中心;中国科学院沈阳科学仪器研制中心 刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 金璐  出版年:2007
国家十五863专项"罗茨干泵研制(2005AA1Z2030)"资助课题
罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否,对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法,对圆弧包络线的生成和性质进行了研究,并将其应用于罗茨转子型...
关键词:罗茨转子  型线设计 圆弧包络线  啮合原理 动画编程
RH真空精炼吹氩参数对循环流动影响的数值分析 ( EI收录)
4
《真空科学与技术学报》东北大学真空与流体工程研究中心 王晓冬 王维娜  出版年:2009
中澳校际合作项目(No.74404015);东北大学留学回国博士启动基金(No.18504032)资助项目
为研究RH真空脱气过程中的流动行为,建立了描述气泡驱动下的RH循环气-液两相流动的数学模型。基于欧拉-欧拉两流体模型,利用计算流体力学(CFD)商业软件FLUENT6.0,对不同充气量条件下的循环流量进行了预测。计算结果...
关键词:RH真空精炼 气-液两相流 CFD建模  吹氩参数  数值模拟
半导体电学特性四探针测试技术的研究现状
5
《真空》东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 李建昌 王永 王丹 李永宽 巴德纯  出版年:2011
中央高校基本科研业务费专项资金(N090403001);教育部留学回国人员科研启动基金(20091341-4)资助
四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同,四探针法可分...
关键词:四探针法  半导体表征  微观四点探针  电阻率
真空管式太阳能集热器研究最新进展 ( EI收录)
6
《真空科学与技术学报》东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 李建昌 侯雪艳 王紫瑄 吴隽稚 巴德纯  出版年:2012
教育部高等学校博士学科点专项科研基金项目(2010004420023);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(M10403001)
从选择性吸收涂层的材料、结构、热稳定性及真空环境等方面综述了真空管式太阳能集热器的研究进展。不锈钢、Ti、Al、Ni类材料适于制备中低温选择性吸收涂层;而Mo和W类等高熔点材料,适于高温涂层。涂层结构方面,主要有吸收层/...
关键词:太阳能 真空管式集热器  选择性吸收涂层 热稳定性
特殊爪型干式真空泵的容积利用系数
7
《真空》东北大学真空与流体工程研究中心 刘坤 巴德纯 杨乃恒 刘波  出版年:2003
教育部博士点基金资助项目 ;批准号 :2 0 0 0 0 14 5
介绍了一种新型的特殊爪型干式真空泵的容积利用系数。根据啮合原理 ,提出了计算机模拟创成方法并同其它爪型干式真空泵的容积利用系数做出了比较。研究表明 ,特殊爪型干式真空泵与单爪型干式真空泵相比 ,在同样结构参数下 (泵腔尺...
关键词:特殊爪型干式真空泵  容积利用系数  啮合原理 抽速 计算机模拟创成法  压缩机 转子型线
SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展 ( EI收录)
8
《真空科学与技术学报》东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 李建昌 韩小波 韩娜 巴德纯  出版年:2010
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N090403001)
甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究...
关键词:甲烷 二氧化锡 气体传感器 金属氧化物半导体薄膜  
电絮凝水处理技术阳极优化的研究
9
《工业水处理》东北大学真空与流体工程研究中心;沈阳理工大学 张以忱 钱炯 左继成 吴达  出版年:2007
简介了电絮凝法处理废水的基本原理,重点探讨了目前电絮凝水处理技术中存在的阳极钝化问题,以及影响阳极钝化的主要因素,并提出了解决阳极钝化的方法和建议。在实际处理工艺中,可以从采用新型电极、磁场效应以及改进电源技术等方面着手...
关键词:电絮凝 水处理 钝化 阳极优化  
水蒸汽喷射泵抽气特性计算方法及其适用性
10
《真空》东北大学真空与流体工程研究中心 王晓冬 巴德纯 王庆 陆阳 廖国进 杨乃恒  出版年:2003
辽宁省自然科学基金资助课题 (9910 2 0 0 10 2 )。
本文对三种喷射泵理论计算模型进行了分析 ,将计算结果与实验值进行了比较 ,根据三种理论模型在膨胀比 10~ 4 0 0 0范围内的计算误差 ,得出理论模型的可用性及适用的膨胀比范围。
关键词:水蒸汽喷射泵 抽气特性 计算方法 适用性  膨胀比 误差  
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