文献类型：期刊文章

作　　者：蔺增[1] 巴德纯[1] 王志[1] 闻立时[2]

机构地区：[1]东北大学真空与流体工程研究中心,沈阳110004 [2]中国科学院金属研究所,沈阳110016

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2004

卷　　号：24

期　　号：1

起止页码：77-80

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。

关 键 词：RFPECVD法  不锈钢 类金刚石薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积  DLC 摩擦系数  

分 类 号：TN304.18]