文献类型：期刊文章

作　　者：李建昌[1] 王永[1] 王丹[1] 李永宽[1] 巴德纯[1]

机构地区：[1]东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金(N090403001);教育部留学回国人员科研启动基金(20091341-4)资助

年　　份：2011

卷　　号：48

期　　号：3

起止页码：1-7

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同,四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常用,方形四探针多用于微区电阻测量。本文综述了四探针测试技术的基本理论,包括四探针法的分类、原理和修正,并阐述了四探针测试技术在微观领域的发展。

关 键 词：四探针法  半导体表征  微观四点探针  电阻率

分 类 号：TN307]