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上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室 收藏

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研究主题:氮化铝    紫外透光率    英寸    ALN    模拟仿真    

研究学科:电子信息类    

被引量:4H指数:1EI: 1 北大核心: 2

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物理气相传输法生长1英寸AlN单晶及其表征分析 ( EI收录)
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《人工晶体学报》上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室 贺广东 王琦琨 雷丹 龚建超 黄嘉丽 付丹扬 吴亮  出版年:2019
国家自然科学基金(U1560202,51401116);上海市科委基金(13DZ1108200,13521101102)
本文采用物理气相传输法(PVT)及同质外延工艺,在自发生长的6 mm×7 mm AlN籽晶片上,通过4次迭代,成功生长出高质量1英寸AlN单晶锭。将生长出的单晶锭经过切片、研磨和抛光工艺加工成1英寸低表面粗糙度的单晶片,...
关键词:氮化铝 物理气相传输  同质外延  紫外透光率
坩埚位置对PVT生长AlN晶体过程中物质传输的影响
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《半导体光电》上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室 雷丹 王琦琨 黄嘉丽 贺广东 龚建超 付丹扬 吴亮  出版年:2019
国家自然科学基金项目(U1560202,51401116);上海市科委基金项目(13DZ1108200,13521101102)
使用FEMAG晶体生长模拟仿真软件以及自主开发的PVT法有限元传质模块对全自动、双电阻加热物理气相沉积炉开展了AlN晶体生长工艺过程中不同坩埚埚位对温度场、过饱和度场及烧结体升华速率等影响的模拟仿真分析研究。模拟仿真结果...
关键词:ALN 物理气相传输法  模拟仿真 坩埚埚位  物质传输  
新型钙钛矿结构Ba2YZrO5F耐火材料制备及其与钛合金的界面反应
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第十八届全国耐火材料青年学术报告会 2022陈光耀 刘健 侯笑 余飞海 李海涛 王恩会 侯新梅 鲁雄刚 李重河  出版年:2022
使用碳酸钡、氧化锆、氧化钇和氧化氟为原料,以物质的量比n(碳酸钡):n(氧化锆):n(氧化钇):n(氟化钡)=3:2:1:1.15混料,通过高温固相合成反应合成制备了BaYZrOF耐火材料,并采用冷等静压结合固相烧结技术...
关键词:Ba2YZrO5F  耐火材料 钛合金 感应熔炼 界面反应  
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