登录    注册    忘记密码
高级检索
概览 下级机构 专家学者 科研产出 学科建设 成果管理 成果提交 成果认领 成果审核 学术分析 机构森林 关于我们

西安工业大学光电工程学院陕西省光学先进制造工程技术研究中心 收藏

导出分析报告

研究主题：磁控溅射靶    磁场分布    结构参数    柱面    真空镀膜    

研究学科：

被引量：5H指数：1北大核心: 1

详细介绍新闻动态研究成果专家学者关系图谱计量评价荣誉奖励
-
结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一机构
结果分析中...
全选清除导出
排序方式：

共 1 条 记 录，以下是 1-1

圆筒式柱面磁控溅射靶的磁场设计与仿真研究
1
《人工晶体学报》西安工业大学光电工程学院 杨欣蕾 弥谦 龚立榕 周凤琳  出版年：2021
开放基金(ZSKJ202002)。
为探究一种可实现向心溅射的圆筒式柱面磁控阴极靶,需要对靶装置内的磁场分布进行研究,进一步讨论靶结构参数对其磁场分布的影响规律。本文根据磁控靶的结构与工作原理,利用COMSOL Multiphysics有限元分析软件中AC...
关键词：磁控溅射  磁场分布 圆柱靶  有限元分析  COMSOL  结构参数 真空镀膜 设计与仿真  
全选清除导出
共1页<< <1> >>
已选条目 检索报告 聚类工具

版权所有©重庆科技学院 重庆维普资讯有限公司 渝B2-20050021-7
　渝公网安备 50019002500408号　违法和不良信息举报中心