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西安工业大学光电工程学院陕西省光学先进制造工程技术研究中心 收藏

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研究主题:磁控溅射靶    磁场分布    结构参数    柱面    真空镀膜    

研究学科:

被引量:5H指数:1北大核心: 1

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