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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 收藏

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研究主题：微机电系统    MEMS    磁控溅射    射频MEMS开关    钙钛矿    

研究学科：电子信息类    电气类    自动化类    机械类    轻工类    

被引量：569H指数：11WOS: 36 EI: 45 北大核心: 136 CSCD: 125

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萨本栋微米纳米科学技术研究院  
1
发文量：243被引量：569H指数：11
研究主题：微机电系统 MEMS 磁控溅射 射频MEMS开关 钙钛矿
萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心  
2
发文量：94被引量：360H指数：10
研究主题：微机电系统 MEMS 射频MEMS开关 磁控溅射 牺牲层
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