厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院

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研究主题：微机电系统    MEMS    磁控溅射    射频MEMS开关    钙钛矿    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    轻工类    

被引量：541H指数：11WOS: 36 EI: 45 北大核心: 132 CSCD: 124