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中国科学院微电子研究所 收藏

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研究主题：半导体器件    衬底    沟道    半导体    刻蚀    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    经济学类    

被引量：8,175H指数：22WOS: 491 EI: 975 北大核心: 2,493 CSCD: 2,062

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中国科学院微电子研究所  
1
发文量：18,237被引量：8,175H指数：22
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
纳米加工与新器件集成重点实验室  
2
发文量：100被引量：204H指数：8
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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