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中国科学院微电子研究所 收藏

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研究主题：半导体器件    衬底    沟道    半导体    刻蚀    

研究学科：电子信息类    自动化类    电气类    机械类    经济学类    

被引量：7,982H指数：22WOS: 491 EI: 975 北大核心: 2,484 CSCD: 2,058

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