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3 条 记 录,以下是 1-3

微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析
1
《传感技术学报》重庆大学机械工程学院;重庆科技学院机械系;中国工程物理研究院电子工程研究所 何高法 唐一科 刘世明 何晓平  出版年:2007
中国工程物理研究院对本课题研究工作给予的资助和支持.
设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析...
关键词:微机电系统 微杠杆  柔性铰链 加速度计
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
2
《微纳电子技术》重庆大学机械工程学院;中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆科技学院机械系 何高法 唐一科 何晓平 刘世明  出版年:2007
中国工程物理研究院电子研究所传感器和执行器中心以及中国工程物理研究院电子工程研究所的资助和支持.
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约...
关键词:微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆  
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
3
第十届全国敏感元件与传感器学术会议 2007何高法 唐一科 何晓平 刘世明  出版年:2007
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约...
关键词:微机电系统 微加速度计 微杠杆  DETF谐振器  
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