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厦门大学能源学院太阳能研究所 收藏

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研究主题：各向异性    预氧化    

研究学科：

被引量：0H指数：0EI: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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预氧化法制备均匀硅纳米线阵列 ( EI收录)
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《人工晶体学报》厦门大学能源学院太阳能研究所;厦门大学深圳研究院 李燕秋 渠亚洲 程其进  出版年：2018
深圳市基础研究项目(JCYJ20170306141238532)
利用双氧水溶液对硅片表面进行预氧化处理,并用改良的RCA法清洗硅片,结合金属辅助化学刻蚀(MACE)制备硅纳米线阵列(Si NWs)。通过表征发现:预氧化清洗相较于传统RCA清洗,能够降低硅片表面微粗糙度,同时提高后续制...
关键词：硅纳米线阵列  预氧化清洗  金属辅助化学刻蚀  各向异性
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