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山东理工大学电气与电子工程学院现代光电技术研究所 收藏

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研究主题：AL2O3    ZNO    PLD法    PLD    无机非金属材料    

研究学科：电子信息类    

被引量：0H指数：0北大核心: 1 CSCD: 1

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PLD法生长Al2O3基ZnO薄膜的特性
1
《电子元件与材料》山东理工大学电气与电子工程学院现代光电技术研究所;山东师范大学物理与电子科学学院 何建廷 曹文田 李田泽 庄惠照  出版年：2008
国家自然科学基金资助项目(No.90301002)
在不同衬底温度下,用脉冲激光沉积法(PLD),在Al2O3(0001)平面上生长了ZnO薄膜。研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响。结果显示:XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO(0002)衍射峰;...
关键词：无机非金属材料 PLD ZNO 薄膜  AL2O3 半导体材料  
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