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研究主题：MEMS工艺    共面波导    螺旋天线    微机电系统    天线设计    

研究学科：电子信息类    

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一种基于MEMS工艺的太赫兹片上螺旋天线设计
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第二届全国太赫兹科学技术学术年会 2016郭林  出版年：2016
本文给出了一种基于微机电系统(MEMS)工艺的3D片上螺旋天线结构,天线工作频率为10THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的共面波导馈线两个部分,可以在单片晶圆上利用MEMS工艺实现,且方便与系统其它电路集成于同...
关键词：太赫兹(THz)天线  片上螺旋天线  微机电系统(MEMS)工艺共面波导  
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