会议论文详细信息
一种基于MEMS工艺的太赫兹片上螺旋天线设计
文献类型：会议
作者单位：南京邮电大学物联网学院宽带无线通信与传感网技术教育部重点实验室
会议文献：第二届全国太赫兹科学技术学术年会论文集
会议名称：第二届全国太赫兹科学技术学术年会
会议日期：20160413
会议地点：中国北京
出版日期：20160400
语 种：中文
摘 要：本文给出了一种基于微机电系统(MEMS)工艺的3D片上螺旋天线结构,天线工作频率为10THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的共面波导馈线两个部分,可以在单片晶圆上利用MEMS工艺实现,且方便与系统其它电路集成于同一芯片内部。天线在8-10THz频段内具有很高的增益(20d B)和很宽的工作带宽(2THz),非常适合应用于太赫兹通信系统。
关 键 词：太赫兹(THz)天线 片上螺旋天线 微机电系统(MEMS)工艺共面波导
分 类 号：TN823] O441.4]
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