大连交通大学材料科学与工程学院辽宁省高等学校光电材料与器件工程技术研究中心

研究主题：材料特征氮化钛非晶类金刚石金属掺杂

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薄膜的材料特征: 1; 《真空》大连交通大学;大连理工大学;海南大学张爽董闯马艳平丁万昱出版年：2020; 辽宁省教育厅科学研究项目(项目编号:JDL2019023);辽宁省自然科学基金(项目编号:2020-BS-208);国家重点研发计划(批准号:2016YFB0101206);国家自然科学基金(项目编号:51761010以及51772038);海南省特种玻璃重点实验室(海南大学)开放课题。; PVD、CVD涂层行业发展了多年,出现了多种等离子体和高能束辅助技术,但常用的工业涂层却集中在少数几种材料上,如金属氮化物、碳膜等。本文从材料的成分宽容性、结构稳定性、导电性三个基本原则出发,解释了薄膜材料的选材问题,并...; 关键词：薄膜材料成分设计氮化钛非晶硼化物金属掺杂类金刚石团簇加连接原子模型

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