文献类型：期刊文章

作　　者：张爽[1] 董闯[1,2] 马艳平[2,3] 丁万昱[1]

ZHANG Shuang;DONG Chuang;MA Yan-ping;DING Wan-yu(Engineering Research Center of Optoelectronic Materials and Devices,School of Materials Science and Engineering,Dalian Jiaotong University,Dalian 116028,China;Key Laboratory of Materials Modification by Laser,Ion and Electron Beams,Dalian University of Technology,Ministry of Education,Dalian 116024,China;State Key Laboratory of Marine Resource Utilization in South China Sea&Special Glass Key Laboratory of Hainan Province,School of Materials and Chemical Engineering,Hainan University,Haikou 570228,China)

机构地区：[1]大连交通大学,材料科学与工程学院,辽宁省高等学校光电材料与器件工程技术研究中心,大连116028 [2]大连理工大学,三束材料改性教育部重点实验室,大连116024 [3]海南大学,海南省特种玻璃重点实验室,海口570228

出　　处：《真空》

基　　金：辽宁省教育厅科学研究项目(项目编号:JDL2019023);辽宁省自然科学基金(项目编号:2020-BS-208);国家重点研发计划(批准号:2016YFB0101206);国家自然科学基金(项目编号:51761010以及51772038);海南省特种玻璃重点实验室(海南大学)开放课题。

年　　份：2020

卷　　号：57

期　　号：4

起止页码：11-18

语　　种：中文

收录情况：CAS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：PVD、CVD涂层行业发展了多年,出现了多种等离子体和高能束辅助技术,但常用的工业涂层却集中在少数几种材料上,如金属氮化物、碳膜等。本文从材料的成分宽容性、结构稳定性、导电性三个基本原则出发,解释了薄膜材料的选材问题,并以氮化钛、非晶硼化物、金属掺杂类金刚石涂层为例,说明薄膜材料的选择源自工艺特性和材料性能二者的平衡,且以工艺性为主导。材料成分需要进行精确调控,以达到最佳的工艺性与性能的匹配,而成分根源是化学近程序结构,通过引入本课题组所提出并发展的团簇加连接原子模型,构建出类似于分子式的局域结构单元和相应成分式,进而对薄膜材料进行成分设计。

关 键 词：薄膜材料  成分设计  氮化钛 非晶硼化物  金属掺杂类金刚石  团簇加连接原子模型  

分 类 号：TB43] O484.1]