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天津大学精密仪器与光电子工程学院天津市微纳制造技术工程中心 收藏

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研究主题：拉曼光谱    聚焦离子束    单晶金刚石    金刚石    显微拉曼光谱    

研究学科：

被引量：2H指数：1北大核心: 1 CSCD: 1

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基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法
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《分析试验室》天津大学精密仪器与光电子工程学院 兀伟 徐宗伟 李万里 刘婷 曹克雄 陈津平  出版年：2014
国家自然基金项目(51275559;50935001);中物院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF13008)资助
提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法。以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性。方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径。实验证明,对于厚度小于...
关键词：拉曼光谱 非晶层  聚焦离子束 无损检测 单晶金刚石
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