文献类型：期刊文章

作　　者：兀伟[1] 徐宗伟[1] 李万里[1] 刘婷[1] 曹克雄[1] 陈津平[1]

机构地区：[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津市微纳制造技术工程中心,天津300072

出　　处：《分析试验室》

基　　金：国家自然基金项目(51275559;50935001);中物院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF13008)资助

年　　份：2014

卷　　号：33

期　　号：11

起止页码：1276-1280

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、JST、PROQUEST、RCCSE、RSC、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法。以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性。方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径。实验证明,对于厚度小于50 nm的非晶层,方法检测误差小于1.5 nm。

关 键 词：拉曼光谱 非晶层  聚焦离子束 无损检测 单晶金刚石

分 类 号：O657.3]