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信息产业部电子第二十六研究所 收藏

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研究主题：压电材料    惯性器件    加速度计    微细加工    微机械    

研究学科：自动化类    电子信息类    

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石英微机械惯性器件及其应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议 2001吕志清 张巧云 林日乐 张挺  出版年：2001
石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英微机械加速度计的工作原理、结构、加工工艺和主要性能,简要介绍了它们的应用.
关键词：石英 微机械 惯性器件 陀螺  加速度计 压电材料 微细加工 刻蚀  
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