会议论文详细信息
石英微机械惯性器件及其应用
文献类型：会议
作者单位：信息产业部电子第二十六研究所(重庆)
会议文献：压电与声光2001第23卷5增刊
会议名称：第五届全国微米/纳米技术学术会议
会议日期：20011001
会议地点：重庆
主办单位：国家自然科学基金委员会;科技部;解放军总装备部;清华大学;重庆大学
出版日期：20011001
语 种：中文
摘 要：石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英微机械加速度计的工作原理、结构、加工工艺和主要性能,简要介绍了它们的应用.
关 键 词：石英 微机械 惯性器件 陀螺 加速度计 压电材料 微细加工 刻蚀
分 类 号：TP212.1] TN405]
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