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复旦大学微电子学院 收藏

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研究主题：集成电路    半导体    原子层沉积    存储器    栅驱动    

研究学科：电子信息类    自动化类    经济学类    电气类    机械类    

被引量：191H指数：7WOS: 12 EI: 13 北大核心: 32 CSSCI: 1 CSCD: 30

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共 2 条 记 录，以下是 1-2

微电子学院  
1
发文量：78被引量：191H指数：7
研究主题：集成电路 半导体 原子层沉积 存储器 栅驱动
微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室  
2
发文量：24被引量：41H指数：3
研究主题：薄膜晶体管 存储器 原子层沉积 光刻机 集成电路
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