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北京大学微电子学研究院 收藏

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研究主题：MEMS    微机电系统    硅    集成电路    英文    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    经济学类    电气类    

被引量：415H指数：10WOS: 32 EI: 46 北大核心: 73 CSCD: 79

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微电子学研究院  
1
发文量：168被引量：415H指数：10
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 集成电路 英文
微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室  
2
发文量：1被引量：1H指数：1
研究主题：场发射 电流 碳纳米管
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