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浙江师范大学交通学院机械工程系 收藏

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研究主题：研磨    合金薄膜    抛光    

研究学科：

被引量：4H指数：1北大核心: 1

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合金薄膜铜衬底抛光质量对薄膜表面结构的影响
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《金刚石与磨料磨具工程》浙江师范大学交通学院机械工程系;机械制造及自动化教育部重点实验室浙江工业大学 张克华 文东辉 陶黎 袁巨龙  出版年：2007
机械制造及自动化教育部重点实验室开放基金项目(56310202019)
合金薄膜具有良好的导电性、抗磨损性质,已成为半导体产业的技术热点。铜做为合金薄膜衬底材料时,要求其有完美的表面。本文采用氧化铝微粉和金刚石抛光膏对合金薄膜铜衬底进行了机械研磨和抛光的实验研究,采用接触式粗糙度仪、AFM、...
关键词：合金薄膜 研磨 抛光
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