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中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室 收藏

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研究主题:高深宽比    硅微结构    刻蚀技术    纳机电系统    ZR    

研究学科:电子信息类    

被引量:6H指数:1北大核心: 2 CSCD: 1

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