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研究主题:靶材    溅射靶材    高纯    化学分析方法    溅射    

研究学科:经济学类    自动化类    电气类    电子信息类    机械类    

被引量:205H指数:8WOS: 2 EI: 18 北大核心: 47 CSCD: 36

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