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上海华力微电子有限公司 收藏

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研究主题:晶圆    刻蚀    半导体    刻蚀工艺    光刻    

研究学科:电子信息类    自动化类    经济学类    电气类    交通运输类    

被引量:55H指数:3北大核心: 17 CSCD: 14

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