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西安航空学院材料工程学院新材料研究所 收藏

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研究主题:微观结构    AL2O3    富勒烯    耐蚀性    摩擦学性能    

研究学科:

被引量:2H指数:1EI: 2 北大核心: 3 CSCD: 3

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3 条 记 录,以下是 1-3

N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响 ( EI收录)
1
《人工晶体学报》西安航空学院材料工程学院 鲁媛媛 丁旭 罗甲文 吴坤尧  出版年:2018
凝固技术国家重点实验室开放课题(SKLSP201858).
采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrN_x薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律。结果表明:...
关键词:脉冲溅射  CrNx  薄膜  氮气流量  微观结构 耐蚀性
类富勒烯碳基薄膜与Al2O3对偶球的摩擦学性能研究
2
《化工新型材料》西安航空学院;中国科学院北京纳米能源与系统研究所 吴坤尧 宗彦旭 赵更锐 王妍 丁旭  出版年:2017
国家自然科学基金项目(51275508);西安航空学院校级科研基金项目(2016KY1209)
以甲烷(CH4)为前躯体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在单晶硅<n-100>基底表面制备类富勒烯纳米结构类金刚石薄膜(FL-C∶H)。采用高分辨透射电镜(HRTEM)、拉曼光谱仪(LABRAM)和多功...
关键词:类富勒烯薄膜  摩擦学性能 磨痕硬化  
不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究 ( EI收录)
3
《功能材料》西安航空学院材料工程学院新材料研究所;西北工业大学凝固技术国家重点实验室 鲁媛媛 李贺军 丁旭  出版年:2019
鉴于微晶硅薄膜在沉积过程中先经历一个非晶过渡层才开始晶化的生长特点,试图通过降低薄膜的沉积速率来延长沉积原子在薄膜生长表面的扩散时间,以达到促进晶粒生长的目的。研究结果表明,反应气体气流量的减小可以有效降低薄膜的沉积速率...
关键词:微晶硅薄膜 沉积速率 微观结构 表面形貌
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